hyacinth射频电源维修HTMV/HTEV系列 hyacinth电源维修
维修范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频RF电源及匹配器维修,为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP设备电源,包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。
当滤波电容上无380VDC左右电压时,说明PFC电路没有正常工作,PFC模块关键检测脚为电源输入脚VC,启动脚Vstart/control,C/RT脚及V0脚。测试一板上滤波电容上无380VDC电压。VC,Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常,测量场效应功率开关管无V0波形,由于FA5331(PFC)为贴片元件,机器用久后出现V0端与板之间虚焊,V0信号没有送到场效应管。将V0端与板上焊点焊好,用万用表测量滤波电容有380VDC电压。当Vstart/control端为低电平时,PFC亦不能工作,则要检测其端点与外部相连的有关电路。
电源电路有易有难,功率有大有小,输出电压多种多样。充分熟悉开关电源的基本结构以及PFC及PWM模块的特性,它们工作的基本条件,按照上述步骤和方法,多动手进行开关电源的维修,就能迅速地排除开关电源故障,起事半功倍的效果。